亚洲国产精品毛片Av不卡在线,无遮挡边吃奶边做的无码视频,视频一区二区无码制服师生

              當前位置:主頁 > 行業資訊 > 半導體行業VOCs來源及解決方案是什么?(芯片制程有機廢氣成分和治理方案介紹)

              半導體行業VOCs來源及解決方案是什么?(芯片制程有機廢氣成分和治理方案介紹)

              環保領域專家
              • 格林斯達環保
              • 擅長:14年廢氣治理經驗,助力企業廢氣達標排放

              半導體工藝對操作室清潔度要求極高,通常會使用風機抽取工藝過程中揮發的各類廢氣,因此半導體行業廢氣排放以揮發為主,且具有排氣量大、排放濃度小的特點。下面格林斯達環保集團以本公司半導體廢氣處理客戶工程為例,為您介紹半導體行業VOCs來源及解決方案是什么?(芯片制程有機廢氣成分及治理方案介紹)

              半導體/芯片

              半導體/芯片制程VOCs有機廢氣來源及成分

              半導體/芯片制程VOCs有機廢氣來源及成分

              下面讓我們來看一看半導體/芯片行業有機廢氣/VOCs方面的治理方案介紹:

              半導體/芯片行業有機廢氣/VOCs廢氣主要來源于光刻、顯影、刻蝕及擴散等工序,在這些工序中要用有機溶液(如異丙醇)對晶片表面進行清洗,其揮發產生的廢氣是有機廢氣的來源之一;同時,在光刻、刻蝕等過程中使用的光阻劑(光刻膠)中含有易揮發的有機溶劑,如醋酸丁酯等,在晶片處理過程中也要揮發到大氣中,是有機廢氣產生的又一來源。

              半導體/芯片行業中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分。在工藝過程中,這些有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放。目前,針對這種氣體排放,一般采用吸附、焚燒或兩者相結合的處理方法。
              方案一:

              吸附是利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體,使其中所含的一種或多種組分吸附于固體表面上,達到分離的目的。吸附劑選擇性高,能分開其他過程難以分開的混合物,有效地清除(或回收)濃度很低的有害物質,凈化效率高,設備簡單,操作方便,且能實現自動控制。但固體吸附劑的吸附容量小,需要大量的吸附劑,設備龐大,且吸附后吸附劑需要再生處理,是吸附處理的主要缺點。半導體生產場所揮發出來的有機廢氣通過局部排風罩收集,經管道送到吸附凈化系統。一般采用活性炭作為吸附劑。因為活性炭是非極性吸附劑,對廢氣中水蒸氣的靈敏度不高,且價格便宜。

              方案二:

              焚燒的方法也廣泛用于半導體行業,處理各種有機廢氣,通過熱氧化將有機物轉化為CO2和水。同時,焚燒對處理穩定流量和濃度的廢氣也是一種很好的方法。在熱氧化中,有機廢氣流經過加熱,氣相中的有機物被氧化。為節省燃料使用,通常還使用熱交換器,回收焚燒產生的熱量對進口氣體進行預熱。對于處理大流量、低濃度的氣體,通常都要采用這種方法。由于半導體行業廢氣焚燒會產生SiO2,且SiO2會使催化劑鈍化,因此半導體行業中很少采用接觸氧化的方法。

              一些半導體生產廠也使用旋轉濃縮系統富集有機廢氣,如沸石濃縮轉輪。因為半導體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點,使用其它的處理技術難以達到令人滿意的處理效率。沸石濃縮轉輪使用內帶吸收物質的旋轉輪,其中的吸收物質部分曝露于廢氣流中。轉輪吸收廢氣中的揮發性污染物,并使用蒸汽或熱將其脫吸。脫吸的氣流中富集了較高濃度的揮發物,這種低流量、高濃度的氣流就能很好地被氧化。旋轉濃縮系統用于半導體行業的一個缺點是它對甲醇親和力較差,去除率僅為40-60%。

              以上就是《半導體行業VOCs來源及解決方案是什么?(芯片制程有機廢氣成分及治理方案介紹)》的全部內容,希望對您了解半導體廢氣處理方案有所幫助。

               

               

               


              聲明:本網少部分內容整理為互聯網,相關信息僅為傳遞更多信息之目的,不代表本網觀點,不擁有所有權。如發現本網有涉嫌抄襲侵權/違法違規的內容,請及時與本網聯系,本網將在第一時間對爭議內容進行整改處理!

              芯片半導體是什么行業?半導體行業是做什么的?

              半導體,顧名思義就是導電性介于導體和絕緣體之間的一類物體。通過雜質的摻入而改變材料的導電性能,這便是半導體技術的底層基礎。 ...

              半導體芯片制程工藝Local Scrubber酸性堿性砷排有機廢氣處理技術

              半導體行業在芯片制程工藝中,因其不間斷使用有機溶劑和酸溶液直接產生了大量的有毒有害的廢氣,且需經過廢氣處理達標后才能高空排放。那么,半導體芯片制程工藝Local Scrubber酸性堿性砷...

              亚洲国产精品毛片Av不卡在线,无遮挡边吃奶边做的无码视频,视频一区二区无码制服师生